真空爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制（control)系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。真空退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護(hù)氣氛控制下進(jìn)行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。
爐體主要包括爐殼和傳送裝置。爐殼鋼板的選擇主要是根據(jù)爐體承受的壓強(qiáng)來決定的，壓力越高就要選擇相對(duì)較厚的鋼板；傳送裝置可分為立式的絲桿傳送和臥式的鏈條（chain)傳送。
加熱室包括保溫屏、加熱元件、水冷電極(electrode)、連接板、支架桿、緊壓螺母、爐床、爐床支柱、導(dǎo)電桿、導(dǎo)電桿接頭等。保溫屏一般分為金屬和石墨(化學(xué)式C )兩大類。不充氣的情況下石墨(化學(xué)式C )保溫屏采用軟氈的形式；充氣的情況下保溫屏要采用復(fù)合硬氈。金屬類保溫屏在低溫的情況下選用不銹鋼(不銹耐酸鋼)材料，高溫的時(shí)候要采用鉬(molybdenum)等耐高溫材料(非金屬化合物)。加熱室其他物品一般采用高強(qiáng)石墨(化學(xué)式C )，既要保障它耐高溫、強(qiáng)度（strength)大又要保證材料價(jià)格便宜。

充放氣系統(tǒng)主要包括：氣瓶、充氣管道、充氣閥、放氣閥等。碳化硅反應(yīng)燒結(jié)爐主要用于反應(yīng)燒結(jié)碳化硅、氮化硅結(jié)合碳化硅的真空燒結(jié)行業(yè)。被廣泛應(yīng)用于軍工、衛(wèi)生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、機(jī)械、汽車等領(lǐng)域。充氣閥的主要作用是：開關(guān)氣路，控制（control)氣流大小，定量充氣的作用。
水冷系統(tǒng)主要包括水流量(單位:立方米每秒)計(jì)和水壓(特指:壓強(qiáng))表。其結(jié)構(gòu)為冷壁式結(jié)構(gòu)，即在雙層爐壁之間要不間歇的循環(huán)（continue)通水來帶走爐壁升溫過程中產(chǎn)生的熱量(Heat)，防止?fàn)t壁升溫過高。在進(jìn)水口每一路都要有水流量計(jì)，確保能觀察到每路水循環(huán)的狀態(tài)。
控制（control)系統(tǒng)一般主要包括：PLC、控溫表、真空計(jì)配套規(guī)管、無紙記錄儀、低壓電器、工控機(jī)、模擬(定義:對(duì)真實(shí)事物或者過程的虛擬)板等。PLC的作用就是控制傳輸我們所需要的各個(gè)動(dòng)作的指令，是總控制中心?？販乇碇饕窃谏郎睾捅剡^程中來調(diào)節(jié)溫度（temperature)的大小，達(dá)到我們需要的溫度。衡量一個(gè)真空爐最重要的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)就是真空度。真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器(transducer)，真空計(jì)是顯示和控制部分。真空規(guī)管將測量到的真空度值以電信號(hào)傳給真空計(jì)，真空計(jì)把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的真空度數(shù)字值，并顯示出來。有的真空計(jì)還可以輸出自動(dòng)控制信號(hào)。真空規(guī)管又可分為電離規(guī)管和電阻規(guī)管。電離規(guī)管能準(zhǔn)確測量出1pa以下的真空度大??；電阻規(guī)管能準(zhǔn)確測量出1pa以上的真空度大小。
真空系統(tǒng)主要包括：機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥等。真空淬火爐適用于對(duì)大、中型真空產(chǎn)品零部件的固溶處理及時(shí)效處理。真空高壓氣體淬火爐是一種非常先進(jìn)的真空熱處理設(shè)備，其出色性能和獨(dú)特的設(shè)計(jì)提供了廣泛的適用高速鋼、模具鋼、不銹鋼、合金鋼、鈦合金等合金材料高精密零件的真空光亮氣淬、退火、磁性材料的燒結(jié)及快速冷卻等特點(diǎn)。真空釬焊爐指工件加熱在真空室內(nèi)進(jìn)行，主要用于要求質(zhì)量高的產(chǎn)品和易氧化材料的焊接。真空釬焊爐包括具有圓筒形側(cè)壁和門的壓力容器，門的尺寸和位置設(shè)計(jì)成可封閉圓筒形側(cè)壁的一端。工件處理系統(tǒng)安裝在壓力容器門上，用來支承金屬工件進(jìn)行熱處理或釬焊。工件處理系統(tǒng)包括使工件在處理過程中轉(zhuǎn)動(dòng)的裝置。真空系統(tǒng)可連接到工件，使工件內(nèi)部的壓力在釬焊過程中低于大氣壓。碳化硅反應(yīng)燒結(jié)爐主要用于反應(yīng)燒結(jié)碳化硅、氮化硅結(jié)合碳化硅的真空燒結(jié)行業(yè)。被廣泛應(yīng)用于軍工、衛(wèi)生及建筑陶瓷、航空航天、冶金、化工、機(jī)械、汽車等領(lǐng)域。機(jī)械泵分為旋片泵和滑閥泵為一級(jí)泵，可以單獨(dú)使用。羅茨泵為二級(jí)泵，不可以單獨(dú)使用，必須有前級(jí)泵。擴(kuò)散泵和分子泵抽取的極限壓強(qiáng)更小，可使所抽容器達(dá)到更高的真空度。泵抽速大小的選取一般根據(jù)所抽容積(volume)的大小和極限真空度。真空閥的主要作用是將真空爐內(nèi)部與外界進(jìn)行隔開或聯(lián)通的裝置，可以使泵停止工作期間真空爐內(nèi)依然為真空狀態(tài)。