真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣保護(hù)狀態(tài)下，利用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。安裝電爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場地不易揚起灰塵等

　　真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。

　　真空燒結(jié)爐廣泛應(yīng)用于陶瓷、碳化硅、硬質(zhì)合金材料、光電鍍模材料和石墨純化的真空燒結(jié)處理，在使用真空燒結(jié)爐中要進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)，只有做好保養(yǎng)才可以更長久地使用。